センサ

フジクラでは、シリコンとセラミックをベース材料としたセンサデバイスの研究開発を行っています。
シリコン材料からはMEMSデバイスである圧力センサ、セラミック材料からは固體電解質デバイスである酸素センサを開発、量産化してきました。

現在は高度なエッチング技術、マイクロ接合技術、ダイヤフラム加工技術と、これまで量産で培ってきた生産技術を両輪に、微圧から高圧まで幅広い計測ができる圧力センサを開発しています。特に獨自設計センサチップの性能を最大限に引き出すパッケージングの研究開発はフジクラの大きな強みになっています?！　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　?br>　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
またセラミック微細制御技術、セラミック材料の特性を熟知した量産性の高い加工技術や組立技術の結晶である限界電流式酸素センサも、原材料からの加工技術とユニークな構造によって実現できた特色ある製品です。

高い安定性と再現性、長期信頼性を有するフジクラのセンサデバイスは、研究開発と工場量産技術のダイレクトな結びつきで積み上げてきた様々なノウハウの蓄積から生み出されています。今後もたゆまざる研究で計測対象を拡げながら、優れたパッケージングによって、優れたユーザーインターフェースを持つセンサを開発していきます。

圧力センサの様々な形と機能を実現できるパッケージ設計力	右は攜帯型機器搭載を目的とした小型パッケージ酸素センサ